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    CP12 全自動12英寸探針臺

    項目

    CP12探針臺

    機臺尺寸

    1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

    適用晶圓

    200mm,300mm

    晶圓厚度

    250~2000μm

    Die Size

    350μm ~76,000μm

    晶圓搬運方式

    背面真空吸取,雙Arm

    針測精度

    XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

    XY平臺

    重復定位精度±1μm

    Z軸

    重復定位精度±1.5μm,最大速度30mm/s

    針測壓力

    50kg(可選200kg)

    校準方式

    圖像校準,高低倍模板匹配

    Index Time

    240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

    測試溫度

    常溫~150℃±1℃

    通訊接口

    GPIB,預留TTL和RS232

    可選功能

    ID讀取,自動換卡

     

    ※主要針對CIS和SOC產品推出的高性價比探針臺

    版權所有:杭州長川科技股份有限公司 地址:杭州市濱江區聚才路410號

    電話:+86-571-85096193 傳真:+86-571-88830180 技術支持:故鄉人網絡 浙ICP備13037257號-1

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